新品发布 | 面向 AR 光学碳化硅衬底量产质检，创锐光谱高精度晶圆吸收光谱仪 Y300 正式推出
在 AR（Augmented Reality）显示产业规模化进程中，光学级 SiC 衬底的吸收率一致性，是保障 AR 眼镜成像、色彩稳定的关键指标。为满足行业标准化质检需求，创锐光谱推出自研高精度晶圆吸收光谱仪——Y300 全自动光学级SiC晶圆吸收光谱仪，凭借万分之一级重复检测精度，构建覆盖 6-12 英寸晶圆的全自动一体化检测体系，为 AR 光学衬底出厂性能提供标准化标定支撑。
核心亮点
1 ｜ 超高检测重复精度
系统搭载 wafer‑by‑wafer 单片动态自动校正方案，并融合实时参比补偿光路，该校正机制有效消除环境与系统漂移，确保批量检测结果具备极高的重复精度与优异的一致性，为生产追溯提供可靠数据保障。
2 ｜高效量产检测架构
检测通量可达 60 WPH，高效匹配大批量 AR 衬底连续出厂检测需求，助力产线节拍无缝衔接。
3 ｜全自动化晶圆传输系统
系统采用非接触式机械手自动上下料，配合水平平置式载台，全程避免晶圆与任何部件发生摩擦或挤压，从源头杜绝人为操作带来的污染与划伤风险；设备可有序对接半导体自动化产线，支持 7/24 无人值守连续检测。
检测实例
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创锐光谱正持续完善覆盖第三代半导体及前沿材料检测需求的产品布局，加速推进多种化合物半导体及面向人工智能应用的多元材料缺陷检测设备的研发与市场导入。公司持续以技术创新驱动产品升级，打造全球领先的全栈式先进光谱检测技术平台企业，助力全球半导体产业高质量发展。
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