

11月9日,英飞凌在官网宣布,他们实现2项重大技术突破:
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成功推出全球首款采用12英寸碳化硅晶圆的功率器件;
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成功验证12英寸SiC衬底冷切割可行性。
近期,还有2家企业也在12英寸及大尺寸碳化硅赛道上取得关键突破:
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Wolfspeed:推动透明碳化硅衬底商业化,拓展AR、量子计算和先进光学等市场机遇;
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硅来半导体:设备实现350mm碳化硅晶锭激光剥离,打通全流程。
据英飞凌官网消息,11月9日,其位于奥地利菲拉赫的晶圆厂成功将12英寸碳化硅晶圆加工成功能性功率器件。英飞凌表示,他们是全球首家在规模化晶圆厂实现这一突破的企业。
值得注意的是,英飞凌制造12英寸碳化硅晶圆功率器件是基于现有硅基制造设备实现的。

此外,英飞凌还透露,其位于德国德累斯顿的工厂已成功验证冷切割(Cold Split)技术在12英寸SiC衬底上的可行性。这项技术源自英飞凌几年前对科技公司SILTECTRA的收购。相比传统线切割,该技术能以更少的材料损耗和更短的工时从SiC晶锭中分离衬底。

英飞凌12吋硅、碳化硅、氮化镓晶圆
英飞凌科技首席执行官Jochen Hanebeck表示:“要在功率半导体领域保持领先地位,就必须不断推动技术进步。凭借硅、氮化镓以及现在的12英寸碳化硅晶圆,我们在扩大半导体制造规模和推动盈利增长方面处于领先地位。”
据“行家说三代半”调研,英飞凌的12英寸碳化硅衬底供应商为天岳先进,12英寸碳化硅外延片由天域半导体和瀚天天成供应。
“行家说三代半”认为,英飞凌的12英寸SiC晶圆技术突破,初步验证了大尺寸SiC晶圆的技术可行性,为未来提升生产效率、降低制造成本提供了新的探索方向。
根据英飞凌的说法,12英寸碳化硅晶圆的面积约为8英寸的2.3倍。碳化硅衬底直径越大,单片能做出的芯片越多,成本也越低,这是众多厂商积极推动12英寸碳化硅的核心动力。
同时,该技术也推动碳化硅与硅和氮化镓在12英寸技术上同步演进,为碳化硅未来10年从6/8英寸降本放量走向12英寸规模导入提供路径参考,其方向性意义大于短期量产意义。
不过,12英寸SiC的规模化仍面临现实挑战:
1. 成本与供应链
据不完全统计,截至2026年8月,全球12英寸N型导电SiC衬底玩家共26家,其中中国企业占24家,占比超过90%。

但玩家多不代表价格适宜且供应充足,总体来看行业还缺乏高性价比的12英寸碳化硅衬底。目前多数企业的12英寸产品仍处于送样或者小批量交付阶段。据行家说调研,目前12英寸导电型碳化硅衬底的价格在万元以上,目前还达不到12英寸“单片出片多、单颗成本低”的理论优势。
2. 配套设备与工艺
新建12英寸SiC晶圆线成本高昂。目前英飞凌选择依托现有硅基设备,但碳化硅加工条件远比硅苛刻,当前离子注入、退高温火炉等12英寸SiC专用设备尚不成熟。虽然用硅基产线可以实现12英寸碳化硅晶圆的技术突破,但大规模量产仍需要设备端的配套支持。
总的来说,在功率半导体领域,当前6/8英寸碳化硅晶圆仍是行业主流,头部企业推12英寸碳化硅晶圆更多是技术卡位和研发储备。

除了功率半导体,大尺寸光学级碳化硅材料也是一条极具潜力的新兴赛道。
10月29日,Wolfspeed宣布其专有的透明碳化硅技术正式投入商业应用,拓展了碳化硅在AR、量子计算和先进光学等领域的应用潜力。

Wolfspeed表示,其12英寸光学级衬底具有极低吸光度和卓越的晶圆平整度。同时,凭借碳化硅的高折射率、低双折射、高硬度和高导热性,其将成为下一代AR波导的理想材料,有助于实现更宽广的视野、更高的图像质量和更紧凑的可穿戴设备。
此外,Wolfspeed认为,12英寸光学级衬底在量子计算领域也展现出潜力,能够在单个碳化硅晶体中容纳量子比特,保持其量子态,并通过光传输量子信息。
Wolfspeed公司负责Beyond Power业务的副总裁Katrin Feurle表示:“Wolfspeed专有的TSiC™技术和丰富的知识产权组合,使我们能够助力AR、量子计算和其他新兴市场的突破,进一步巩固碳化硅的多功能性和变革潜力。”
Wolfspeed还表示,在推进8英寸光学级衬底技术的同时,也在积极研发12英寸TSiC™技术,以满足未来市场需求。

据《2026 AR眼镜光学显示调研白皮书》数据,早期SiC光波导设计通常基于4英寸衬底,但目前光波导厂商已转向8-12英寸产线布局。8英寸SiC已成为主流,预计3年内12英寸将被大幅采用。
大尺寸衬底和晶圆的进展,离不开配套设备的支撑。近期,又有一家国内设备厂商在这一环节取得突破。
11月9日,据武汉未来科技城官微消息,由硅来半导体自主研发的碳化硅衬底激光剥离全自动化设备,成功完成350mm碳化硅晶锭激光剥离,打通剥离、研磨、抛光与检测全流程,产出具备衬底形态的350mm碳化硅片,实现多片连续稳定出片。

据介绍,此次突破中,硅来半导体把多路光源集成在一台设备里,重新分配激光能量以匹配不同区域,并控制裂纹沿预定方向扩展,由一台设备、一个光源、一次加工完成整片剥离,减少多机衔接和二次装夹带来的误差。
碳化硅硬度极高,尺寸越大,切割越容易报废、材料损耗越高。此次350mm切割突破,打通了大尺寸晶锭切片瓶颈,为12英寸以上碳化硅衬底量产及新能源车、储能、AR眼镜等应用提供装备基础。
硅来半导体成立于2024年,入驻武汉未来科技城,专注半导体材料加工成套设备解决方案,核心研发团队来自华中科技大学。
英飞凌首发12英寸SiC功率半导体晶圆,到Wolfspeed推进光学级透明碳化硅衬底商业化,再到硅来半导体打通350mm碳化硅激光剥离设备瓶颈,三家企业分别从器件制造、光学应用、装备配套三个维度,推动大尺寸碳化硅向产业化迈进。尽管成本、配套工艺和商业化定位仍有挑战,但产业链上下游的协同推进,正加速大尺寸碳化硅时代的到来。


本文发自【行家说三代半】,专注第三代半导体(碳化硅和氮化镓)行业观察。