2家企业成功交付12英寸SiC订单，国产制程加速
近日，国内SiC产业上游装备领域迎来密集交付期。据“行家说三代半”不完全统计，近一个月共有8家设备厂商宣布了最新的订单签署或设备交付进展。
除了此前报道的矽加半导体、上海众鸿、清连科技等厂商外，晶驰机电、扬帆半导体、中导光电、创锐光谱也透露了交付进展，且呈现出极其明显的大尺寸化趋势：
晶驰机电：12英寸SiC晶体生长炉通过国际客户验收，量产节奏加快。
扬帆半导体：12英寸碳化硅清洗设备正式出货，填补国产高端清洗空白。
中导光电：8英寸SiC纳米级检测设备获重要客户“三度复购”。
创锐光谱：全自动SiC衬底位错缺陷无损检测系统顺利交付国内头部客户。
晶驰机电：
12英寸SiC长晶炉通过国际客户验收
3月1日，据晶驰机电官方公众号消息显示，晶驰机电已陆续收到多个客户现场SAT（现场验收测试）验收通知。这些验收不仅是对供应商质量体系的检验，更传递出一个明确信号：大尺寸晶体生长技术的产业化进程，正以超出预期的速度加快落地。
据悉，量产用户对生长设备的核心指标提出了极高要求，包括设备长期运行的稳定性、温场控制精度以及晶体生长一致性。在连续多轮的SAT工艺验证中，晶驰机电12英寸晶体长晶炉展现出优异的重复性与可靠性，各项数据均达到客户验收标准，具备快速导入产线量产的能力。
值得关注的是，随着碳化硅新材料在新能源、电网等领域的渗透率提升，降低衬底成本已成为行业核心诉求。更大尺寸的晶体生长，对温场均匀性、热应力控制及缺陷密度抑制提出了几何级数的挑战。此次验收顺利通过，证明晶驰机电在12英寸技术路线上已取得实质性突破。
扬帆半导体：
12英寸碳化硅清洗设备正式出货
2月27日，位于平望镇的扬帆半导体科技有限公司内实现开门红：其自主研发的12英寸碳化硅（SiC）RCA刷洗一体机正式交付客户。
据悉，碳化硅高硬度与化学稳定性的特性带来了加工难题，高端清洗设备长期依赖进口。扬帆半导体此次推出的RCA刷洗一体机，针对晶圆表面的颗粒与金属离子去除痛点进行了技术攻关。该设备在工艺控制方面具备高精度循环控制能力，可实时监测并调节工艺参数，并全面支持SECS/GEM联网协议，帮助客户构建自动化、数字化的“未来工厂”。
在环保与降本方面，该设备表现突出：在无尘室空间占用上减少60%，纯水使用量节省超过80%，废液产生量减少55%。
扬帆半导体董事长杨杰表示，目前已有碳化硅领域的头部企业在12英寸产线建设中采用该设备。扬帆目前已构建起涵盖第一代至第四代半导体材料加工的设备矩阵，并拥有全产线衬底加工共享中试平台，确保每一台出厂设备均经过量产级实景验证。
中导光电：
8英寸SiC纳米级检测设备获“三度复购”
近日，中导光电再次斩获碳化硅重要客户的8英寸纳米级晶圆检测设备重复订单。此次订单落地标志着中导光电在8寸SiC检测领域的核心竞争力持续凸显。
据介绍，此次中标设备为中导光电自主研发的NP1系列产品，专门适配8英寸SiC晶圆前道制程缺陷检测，引入先进AI缺陷识别算法，可实现纳米级微小缺陷的快速识别与精准判定。
值得关注的是，这并非双方首次合作，此前该系列设备已两次成功交付该客户并投入量产。凭借95%以上的国产化率、稳定的运行表现以及高效的交付服务，中导光电赢得了客户的充分信赖。
中导光电深耕该领域十余年，聚焦SiC设备“卡脖子”环节，此次重复订单的落地，彰显了国产SiC检测设备逐步实现进口替代的良好态势。
创锐光谱：
SiC衬底位错缺陷无损检测系统交付
2月12日，创锐光谱宣布其全自动SiC衬底位错缺陷无损检测系统Dispec-9000再次顺利完成国内头部客户正式订单的交付。
据悉，这是继2025年出货至美国行业头部客户并成功验收之后，创锐在短时间内完成的又一次重要交付。创锐光谱自主研发的“SiC光学无损位错缺陷检测”系列设备，开创了半导体晶圆光学无损检测的新模式，解决了传统腐蚀法破坏性检测带来的产能损失及无法获知实际生产用晶圆位错缺陷的问题。
创锐光谱（TTS）成立于2016年，专注于科学仪器与半导体材料检测。公司表示，连续正式订单的交付验证了其体系能力，目前生产效率显著提升，多项目并行交付能
力持续增强，交付流程已高度标准化，为半导体晶圆生产企业良率提升提供了核心技术支撑。
本文发自【行家说三代半】，专注第三代半导体（碳化硅和氮化镓）行业观察。
