昂坤视觉：SiC设备成功交付头部器件厂商

近期，昂坤视觉E3500 G4凭借卓越的技术实力与产品性能，成功赢得国内知名碳化硅（SiC）器件厂商的青睐，顺利拿下订单并发货。该款设备自去年12月研发完成后发货给客户，历经超10个月的客户实践检验，其卓越性能赢得了使用者的一致高度赞誉，为行业树立起全新标杆。

昂坤SiC检测设备累计出货近70台

客户口碑见证卓越品质

E3500G4 的出众表现，源于其对前代产品优势的传承与突破。此前，E3500G3 凭借独特技术优势，集成了明场微分干涉和激光暗场散射以及激光PL荧光系统，检测能力集成了国外两款主流检测设备的优点于一身，克服了国外进口设备对于各种Killer缺陷无法兼顾的难点，其高精度的检测能力大幅提升了客户产品出货的一致性与可靠性，赢得了产业链各环节的广泛认可。

截至2025年6月份，昂坤视觉 SiC 缺陷检测设备累计出货近70台，国内数十家 SiC 衬底厂、外延厂及 SiC 器件企业均选择其作为产品良率的 “把关人”。除满足国内市场需求外，设备还远销中国台湾、韩国等海外地区，以稳定品质收获全球客户的信赖。如今，E3500G4 在传承前代优势的基础上持续精进，进一步巩固了在客户心中的优选地位。

产能提升一倍

效率革新开启量产新篇

随着市场对8英寸 SiC 晶圆需求的持续升温，大规模量产对检测设备的精度与稳定性提出了更高要求。昂坤视觉精准洞察行业趋势，对E3500G3光学系统与算法架构进行深度优化，实现了对8英寸晶圆的高效精准检测。针8英寸外延片常见的翘曲问题，设备特别新增实时自动聚焦模块，即便在高翘曲度晶圆表面，也能始终保持清晰成像与稳定检测，大幅提升了设备的场景适应性与检测精度。

在保障检测精度的同时，E3500G4 实现了产能的跨越式突破。单台设备检测一片晶圆的平均时间较上一代缩短 50%，同等检测精度下产能可以达到国外进口设备约2倍。

此外，E3500G4设备在设备稳定性与检测重复性上表现亮眼，其智能化操作界面简化了操作流程，大幅降低了对操作人员的技术门槛，提升了整体作业流畅度；同时，为不同客户定制的专属算法，能够满足复杂工艺场景下的个性化检测需求，进一步拓宽了设备的适配范围。

AI 赋能智能检测

缺陷识别更加精准智能

E3500G4 搭载全新 “凤凰平台” 软件与算法架构，为操作人员带来了前所未有的便捷体验。该平台专为大规模缺陷检测场景设计，支持多任务并行处理与海量数据快速分析，检测能力实现质的飞跃。同时，平台深度衔接 AK Branin、AK Inference 系统，集成先进的人工智能算法，借助深度学习、机器学习等前沿技术，让缺陷检测更智能、更精准。凤凰平台软件支持多台昂坤检测设备协同工作，还能精准追踪缺陷位置及工艺流程中的变化，为工艺人员优化生产流程、提升产品良率提供有力支撑。

更值得一提的是，该算法平台支持本地标注、学习与模型生成，用户无需复杂操作即可轻松完成设备的使用与优化，真正实现了操作便捷性与智能化的完美融合。

市场调研数据显示，昂坤视觉Eagle 系列晶圆缺陷检测设备在化合物半导体行业的市场占有率正稳步攀升。自 2023 年以来，在市场新增订单中，大部分客户选择昂坤视觉的缺陷检测设备，这一数据充分彰显了市场对其产品的高度认可与信赖。

如今，Eagle 系列设备已大规模进驻国内化合物半导体赛道，成为推动行业发展的重要力量。除碳化硅领域外，该系列设备在氮化镓（GaN）行业，以及磷化铟（InP）、砷化镓（GaAs）、铌酸锂、碳酸锂、石英等材料的检测中，同样发挥着不可或缺的关键作用。

从技术突破到产业落地，昂坤视觉成功实现了国产高端检测设备在国际前沿领域的产业化应用，打破了国外技术垄断，为中国半导体产业的高质量发展注入强劲动力。这一成就，也标志着中国在宽禁带半导体检测技术领域成功跻身全球第一梯队，开启了产业发展的全新篇章。

附：Eagle 系列设备介绍

E1000：专注于InP、GaAs、LT、LN、玻璃等晶圆的缺陷检测。针对这类晶圆的典型特征，采用明暗场光学检测系统与缺陷自动检测分类算法，可快速精准识别并分类 Pit（凹坑）、Bump（凸点）、Particle（颗粒）、Scratch（划痕）等常见缺陷。

E3200：适用于GaN 衬底及蓝宝石（Sapphire）、硅（Si）、碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）等各类衬底的 GaN 外延缺陷检测。依托多通道光学检测系统与缺陷自动检测分类算法，为晶圆质量控制与工艺优化提供有力支持。

E3500：专为SiC 衬底片与外延片缺陷检测打造。针对 SiC 缺陷类型多样的特点，融合多通道光学检测系统与缺陷自动检测分类算法，可快速精准识别并分类微管、层错、三角形缺陷、台阶聚集等常见缺陷，助力 SiC 产品质量把控与生产工艺升级。

昂坤视觉于2017年在北京创立，下设南昌、杭州两家全资半导体设备子公司。公司专注化合物半导体、光电及集成电路前端制造领域，致力于提供光学测量与检测设备及解决方案，秉持打造国际水准晶圆检测设备的愿景，持续深耕技术研发。

凭借多年自主创新与技术积累，昂坤视觉已具备光学系统设计、成像技术、机器视觉及学习算法的核心研发能力，拥有多项自主研发的领先技术。公司先后荣获国家高新技术企业、国家级专精特新重点“小巨人” 企业、北京市企业技术中心等资质认证，并通过 ISO9001 质量管理体系认证，是一家集研发、生产、销售、服务于一体的高科技企业，为半导体产业发展持续贡献力量。

本文发自【行家说三代半】，专注第三代半导体（碳化硅和氮化镓）行业观察。

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