成本降低99%！一企业进军6英寸氧化镓领域

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10月17日，日本东北大学发布公告，宣布成立了一家新创公司FOX，将专注于以低成本大规模生产氧化镓晶片。

用OCCC方法生产的β-氧化镓晶体（来源：东北大学）

据了解， FOX公司采用了日本东北大学和C&A联合开发的无需贵金属坩埚单晶生长技术，即OCCC（冷容器氧化物晶体生长）方法，旨在以比SiC更低的成本生产出低缺陷程度与硅相当的β-氧化镓衬底。OCCC方法是一种不使用贵金属坩埚的创新晶体生长技术，可以显著降低制造成本，预计可降至现有方法的1/100左右。目前，日本东北大学和C&A已使用OCCC方法成功培育出了最大直径约5cm的氧化镓晶体。

OCCC方法示意图（来源：东北大学）

FOX公司表示，其初期阶段将集中于使用OCCC法开发半导体级大尺寸化技术，加速技术开发，力争在2028年内确立6英寸晶圆的量产技术。此外，FOX还将进一步扩建量产工厂，推进6英寸晶圆的验证，计划在2033年之前进行IPO。

公开资料显示，FOX公司成立于2024年4月，总部位于日本仙台市。8月，新能源和工业技术综合开发机构 （NEDO） 通过了 Deep Tech Startup Support Project，并决定认真扩大该项目。此外，还获得了Macnica Investment Partners、Iwatani Venture Capital（大阪都中央区）和Tohoku Tech Ventures（东京都港区）的投资，目前的资本金为2.795亿日元（包括资本公积金）。

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氧化镓作为一种新型超宽禁带半导体材料，具有宽带隙、高电子迁移率、高稳定性等优点，是第四代半导体材料的代表，在高压功率器件、紫外光电探测等领域有着巨大的应用潜力。

除日本企业外，国内相关企业也在积极布局氧化镓产业：

9月，杭州富加镓业科技有限公司6英寸氧化镓单晶及外延片生长线在杭州富阳开工建设。

据了解，该生产线高度集成单晶生长、衬底加工、外延及检测，整条产线涉及关键设备包括“一键长晶”单晶生长设备、多线切割设备、高精度研磨抛光设备、倒角设备、激光加工设备、全自动化晶片清洗设备、高通量外延设备、表面缺陷检测仪、电学性能测试仪等重要设备，年产量达10000片。

END.

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