批量出货！这家SiC企业进展迅猛

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过去一年，产业领先企业是如何抓住历史机遇勇立潮头？2023年，他们又将如何迈出新时代步伐？为此，行家说三代半、行家极光奖联合策划了《产业领袖开年说——2023，全力奔跑》专题报道，本期嘉宾是华卓精科营销总监李鑫。

接下来，还将有更多的领军企业参与“行家开年说”，敬请期待。

行家说三代半：过去一年，贵公司致力于哪些方面的努力？主要做了哪些关键性工作？

李鑫：在过去的一年中，华卓克服疫情、供应链等诸多因素的影响，全力推进半导体制造装备整机及零部件的研发、生产与销售等工作。特别是在面向功率半导体制造的激光退火设备、前道激光退火设备、晶圆键合设备等方面持续开展技术创新与关键技术研发。

2022年在关键性工作开展方面，除了设备关键技术研发推进以外，主要的关键性工作是新形势下的供应链建设、关键零部件国产化、与关键用户合作开展国产化设备导入产线应用等。

行家说三代半：2022年，贵公司在产品、技术等方面有哪些新的突破？2023年会有哪些新规划？

李鑫：2022年，华卓发展态势良好，生产、研发规模及效益保持持续增长。

在产品方面，面向功率半导体制造的激光退火设备实现批量供货，设备市场占有率稳步提升；面向先进节点的前道激光退火设备成功登上大生产线应用，技术指标达到国际先进水平；多台晶圆键合设备实现交付和用户验收。

在技术研发方面，公司在激光退火设备的光斑能量均匀性、退火温度均匀性控制等方面取得突破性进展，技术指标比肩国际先进水平；在面向SOI键合、特殊材料键合、热压键合等键合工艺方面取得重要进展，键合精度、键合缺陷、键合能等指标迈上新台阶，接近国际先进水平。

2023年公司将在激光退火、晶圆键合两个领域进一步加大技术创新与研发力度，持续开展技术迭代与升级，提升相关设备产品的技术性能，积极开拓市场，提升市场占有率。

行家说三代半：2022年贵公司备受产业和市场的认可，也获得了“行家极光奖”，能否谈谈贵公司能够脱颖而出的优势有哪些？

李鑫：作为一家以研发和技术转化为核心竞争力的精密科技公司，华卓精科形成了坚实规范的技术研发体系，研发实力始终保持行业领先，持续实现技术成果的产业化和市场化，并打造多款拳头产品，包括激光退火、超精密运动平台、晶圆传输系统、静电卡盘、精密测量系统等整机装备及关键零部件等。未来，华卓精科将继续为客户提供更加全面的技术支持和技术服务。

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行家说三代半：2022年，行业内有很多的企业在扩张、在扩产，您怎么看这个现象？

李鑫：2022年行业内相关企业的扩产、扩张，一方面是是国家经济、产业环境向好的具体体现、同时也是相关行业补短板、夯基础等工作向更深层次推进的体现，另外也是相关行业受国际供应影响在行业供应链自主、供应链安全等方面正常反应，对行业来说是机遇也是挑战。总体而言，这个现象比较正常，但要防止无序和抑制泡沫。

行家说三代半：能否为我们展望一下2023年第三代半导体行业的发展前景？

李鑫：第三代半导体已经写入“十四五”规划。在国家政策和下游需求增长的背景下，预计未来五年，我国SiC、GaN应用市场将呈现复合式增长。未来，在市场规模趋势方面，随着国内SiC、GaN项目增多，相关产业链不断成熟的前提下，可以认为第三代半导体行业发展趋势向好。如果已经过去的十年是消费电子的黄金十年，那么接下来的十年将是第三代半导体发展的黄金阶段，未来发展空间不可估量。

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