中电科风华 Saturn 3520 再度交付 SiC 晶圆大厂
近日，中电科风华信息装备股份有限公司又顺利完成了一台Saturn 3520无图形晶圆缺陷检测设备的出厂发货，设备即将交付至西南地区某碳化硅衬底头部大客户，值得一提的是，这已是本月内该型号的第二次发货了。
设备介绍
Saturn 3520是公司自主研发的晶圆缺陷检测设备，采用激光点共焦扫描技术，暗场灵敏度达60nm，可有效检测SiC衬底表面的颗粒、划伤、坑洞、晶体缺陷等多种缺陷类型。本款设备在标准机型基础上进行了全面优化，可适配多规格晶圆检测，进一步拓展了设备在衬底量产线中的应用场景。
设备亮点
激光共焦扫描，灵敏度达 60nm
针对大尺寸翘曲晶圆优化对焦算法，稳定性大幅提升
国产化整机方案，无禁运风险，交期可控
深度学习+传统算法融合，缺陷识别率高，误检率低
支持SECS/GEM协议，可无缝对接工厂MES系统
缺陷图例
Saturn 3520作为公司主力无图形检测产品，自推出以来已累计获得多家头部衬底厂商的批量订单与重复采购。产品在灵敏度、稳定性、易用性等方面获得客户广泛认可，被客户评价为"国产8520"的理想替代方案，订单持续增长，目前正稳步迈入密集交付阶段。
中电科风华始终坚持以客户需求为导向，持续投入SiC检测设备的技术迭代与产品升级。从Mars 44系列、Saturn 35系列到 Venus 系列，从无图形检测到图形检测，从标准机型到定制化优化，公司已构建起覆盖各类衬底、外延、器件全链条的检测装备体系，并配套自研Andromeda良率管理数据库，实现缺陷从衬底到器件端的全流程追溯。
未来，公司将继续深耕化合物半导体检测领域，以更先进的技术、更可靠的品质、更及时的服务，助力国产半导体产业链高质量发展，为"中国芯"的崛起贡献力量。
关于中电科风华
中电科风华信息装备股份有限公司专注于半导体晶圆缺陷检测设备及SiC全链条检测解决方案的研发、销售与技术服务。公司产品覆盖宏观缺陷检测、无图形晶圆缺陷检测（Mars/Saturn系列）、图形晶圆AOI检测（Venus系列）及缺陷良率管理（Andromeda系统），已服务于国内多家头部SiC衬底制造企业。
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