又一头部企业扩建8英寸GaN晶圆线
随着台积电退出氮化镓代工,叠加AI数据中心等市场的氮化镓器件的确定性需求,最近多家氮化镓头部企业开始扩建自己的8英寸晶圆线,而投产节点指向2027年。
前段时间,瑞萨已经着手建设8英寸GaN晶圆线(回顾.),最近,罗姆半导体也开始引入设备推进GaN产线的建设。
6月8日,2家氮化镓设备企业发文宣布,他们与罗姆半导体达成了战略合作。
爱思强:罗姆已选择他们的G10-GaN MOCVD设备,将在罗姆的日本滨松工厂建立内部GaN外延生产线。
爱思强还透露,目前罗姆的MOCVD系统正在进行产能爬坡,目标是批量生产650V和100V平台的8英寸GaN外延片。
牛津仪器:为罗姆公司提供离子体原子层刻蚀(ALE) 设备,助力罗姆自主研发8英寸氮化镓生产工艺,将650V氮化镓功率器件制造业务转移到公司内部。
事实上,罗姆此前就对外释放了建设氮化镓晶圆线的信号。
今年2月,罗姆宣布已与台积电签署GaN技术许可协议,目标是将台积电的工艺技术转移至罗姆的静冈滨松工厂,计划2027年前在集团内部建立GaN功率器件一体化生产体系。
罗姆半导体之前的650V氮化镓主要是由台积电代工,2024年12月双方曾签署了关于汽车级氮化镓的合作协议。而氮化镓器件的封装工艺则外包给了日月新公司(ATX Semiconductor)。
据“行家说三代半”了解,罗姆的滨松工厂之前在大规模生产GaN基蓝光LED方面积累了丰富的生产经验,拥有硅基GaN外延的量产制造线。2022年,罗姆在浜松的LED生产区域增设GaN功率器件生产区域,同年3月罗姆的滨松工厂开始开始量产150V的GaN晶圆,同时由罗姆的京都府工厂负责器件后端封装工艺。
总的来说,罗姆通过将GaN晶圆工艺纳入内部生产,可以更好地掌控器件制造流程的关键环节,并增强规模生产能力,有望在快速发展的AI和汽车等市场中快速响应客户需求。
同时,罗姆作为全球功率半导体的代表企业,他们在氮化镓领域的投资力度,一方面展现了该公司对氮化镓市场前景的看好,另一方面也将增强下游厂商采用氮化镓的信心,从而进一步推动氮化镓技术在广泛领域的规模化应用。
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本文发自【行家说三代半】,专注第三代半导体(碳化硅和氮化镓)行业观察。
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