近日，创锐光谱自主研发的高通量自动版SiC衬底位错缺陷无损检测设备顺利完成发货，并正式交付客户。此次设备成功交付，不仅代表着公司在先进半导体检测领域的技术能力进一步获得市场认可，也体现出创锐光谱在量产化交付能力、高节拍生产能力及工程化能力上的持续提升。

创锐光谱SiC检测设备订单持续增长

今年以来，创锐光谱SiC衬底位错缺陷无损检测设备销量稳步增长，订单需求持续增加，尤其是来自行业头部客户的合作需求不断提升。面对快速增长的市场节奏，公司持续强化生产制造、供应链协同及现场交付体系建设，逐步优化提升了覆盖研发、装配、测试、调试到交付的标准化量产流程。

本次发货的高通量自动版SiC衬底位错缺陷无损检测设备，主要面向SiC衬底材料缺陷检测场景，可实现对位错等关键缺陷的高效率无损检测，并具备自动化、高通量、稳定运行等特点，更适配当前SiC产线对于连续化、规模化生产的需求。

创锐光谱SiC晶圆光学无损检测设备系列

企业自主研发的“SiC晶圆光学无损检测”系列设备，开创了半导体晶圆光学无损检测技术的新模式，为半导体晶圆生产企业降本增效、提升良率提供核心技术支撑。该系列目前共有以下4款设备：

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