3条8吋SiC晶圆线公布关键进展:出货超100万颗,良率90%
近期,国内和韩国3条8英寸碳化硅晶圆线相继公布了新进展,8英寸SiC作为大尺寸升级的核心方向,正成为全球半导体企业布局的重点。
三星电子:
8英寸SiC产线2026年三季度量产样品
3月16日,据韩国ZDNet Korea报道,三星电子计划于2026年第三季度开始量产SiC功率半导体样品,相关材料与部件准备已于本月正式启动。
据悉,三星电子此次首款量产样品为平面结构SiC MOSFET,其战略规划为先打通平面结构量产路径,再逐步向沟槽(Trench)等性能更高的结构发起挑战。
事实上,三星电子副总裁洪锡俊曾在2025年ICSCRM会上重点介绍了三星的超结SiC平台,展现了其在SiC技术领域的核心布局。
据“行家说三代半”调研了解,2025年国内部分SiC衬底企业已经为三星提供了8英寸SiC衬底产品,国内企业透露,三星已于2025年底启动产线调试工作,预计2026年将实现规模起量,正式开启SiC功率半导体的商业化征程。
回顾三星在功率半导体领域的布局历程,其早在1974年便在韩国京畿道富川市生产基地开始生产非存储半导体,但在1998年亚洲金融危机之后,三星电子将其功率半导体业务部门出售给了飞兆半导体(Fairchild),而2016年安森美半导体又完成了对飞兆半导体的收购,三星暂时退出了功率半导体领域。
直至2023年,三星电子正式重启功率半导体布局,加速进军下一代功率半导体市场。当年年初,该公司成立了功率半导体工作组,专门负责开发SiC和GaN器件,并加大对8英寸SiC和GaN工艺研发设施的投资。
2023年三星连续公布了几个动作:
8月,提前在其器兴园区引进了少量用于制造碳化硅功率半导体的MOCVD设备,已完成的投资额在1000亿至2000亿韩元(约5.3亿元~10.6亿元人民币)之间。
9月,三星子公司Patron投资了一家韩国SiC厂商EYEQ Lab,投资资金达25亿韩元(约1360万人民币),强化在SiC领域的产业链协同。
2023年底,三星电子成立了化合物半导体解决方案(CSS)业务团队,正式启动8英寸晶圆SiC功率半导体的开发工作,该团队隶属于器件解决方案(DS)事业部。
三星器兴园区碳化硅工厂
不过在当时,三星对外态度较为谨慎,曾遮遮掩掩地表示:“与SiC功率半导体相关的业务仍处于研究阶段,尚未决定是否将其商业化。”
直到2025年9月,洪锡俊在接受采访时仍然表示:“我不能透露SiC产线详细的日程安排,我们正在努力尽快实现SiC功率半导体的商业化。”
SK启方半导体
完成8吋SiC工艺平台开发,良率90%
3月11日,韩国8英寸晶圆代工厂SK Keyfoundry(SK启方半导体)宣布,其平面SiC MOSFET工艺平台已于近期完成开发,并且已获得新客户的1200V SiC MOSFET产品开发订单。
据悉,SK启方半导体推出的全新SiC平面MOSFET工艺平台支持450V至2300V的宽电压范围。此外,该公司表示,通过对整体工艺的优化和核心工艺的精准控制,他们已将该平台的良率提升至90%以上,显著提高了生产效率,降低了制造成本。
SK启方半导体还宣布,他们已成功获得一家专注于SiC设计客户的1200V高压产品订单,并已启动该产品的研发工作。按照规划,在完成原型评估和可靠性验证后,SK启方半导体计划于2027年上半年开始全面量产该类SiC产品。
该公司的SiC平面MOSFET工艺平台的开发,是SK Keyfoundry收购专注于SiC领域的SK Powertech后,两家公司核心能力整合的首个成果。
据了解,早在2023年SK 启方半导体就开始采购SiC MOCVD设备,布局8英寸SiC技术研发和产线建设。
2025年,SK 启方半导体以250亿韩元的价格从SK公司手中收购了其子公司SK Powertech 98.59%的股份,完成了对SiC核心技术和团队的整合。
该公司首席执行官李东宰表示:“收购SK Powertech已成为SK 启方半导体在化合物半导体领域确保独立技术竞争力的重要转折点,我们将通过推出结合两家公司核心研发能力的高效SiC功率半导体工艺技术和产品,建立差异化的技术领先地位。”
出货超100万颗
国内8吋SiC晶圆线实现规模出货
在国内市场,也有一条8英寸碳化硅晶圆线同样传来捷报,实现关键出货量的里程碑式突破。
3月2日,国内fabless厂商至信微发文称,他们与国内头部代工厂合作推出了国内领先的8英寸SiC晶圆系列产品。
该公司透露,目前该系列SiC晶圆产品出货量已超过100万颗,正式进入量产交付阶段,展现出强劲的市场竞争力。
据“行家说三代半”调研了解,为至信微提供8英寸SiC晶圆代工是国内较早实现SiC产线调通量产的企业,目前该企业的8吋线还为其他多家国内SiC设计公司提供代工生产服务。
国内企业透露,这条8吋SiC晶圆的月产能为数千片。
本文发自【行家说三代半】,专注第三代半导体(碳化硅和氮化镓)行业观察。
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