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第3批12吋SiC订单交付,深度揭秘这家企业技术内核
行家说三代半 · 2026-03-23
第3批12吋SiC订单交付,深度揭秘这家企业技术内核
第3批12吋SiC订单交付,深度揭秘这家企业技术内核
SiC衬底正迎来令人瞩目的“破圈”机遇——从新能源汽车等传统优势赛道,悄然向AR光波导、先进封装中介层等前沿增量场景延伸,而12英寸SiC技术正成为这一进程中的关键支点。为此,国内外SiC衬底头部企业相继官宣12英寸技术突破,并启动相关产线建设。
在这场全球产业同步竞逐的超大尺寸竞赛中,激光剥离技术成为12英寸SiC产线从“研发”走向“量产”的关键一环,直接关乎生产良率、交付效率与最终成本。
而激光剥离赛道上,硅来半导体(武汉)有限公司正凭借其激光剥离创新技术,率先在这场12英寸SiC竞赛中占据先机。他们不仅率先完成了第三批12英寸SiC激光剥离设备的交付,而且在短短半年内,整体SiC激光剥离设备累计出货已达数十套。
硅来半导体为何能够“横空出世”,快速得到国内多家头部SiC企业的广泛认可?今天,“行家说三代半”带大家一探究竟。
第3批12吋SiC订单交付,深度揭秘这家企业技术内核
硅来交付第三批激光剥离设备
帮助12吋SiC加速“破圈”
据行家说《2025碳化硅(SiC)衬底与外延产业调研白皮书》预测,到2030年,SiC 衬底产业产值将达到20.86亿美元,值得关注的是,在未来几年,光学和先进封装领域将成为SiC衬底的重要增长极,形成显著产值贡献。
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而要叩开这两大前沿增量场景的大门,12英寸SiC衬底正是那张“入场券”。然而,12英寸SiC的量产绝非易事,不仅晶体生长难度更大,而且切磨抛工艺也是“险阻重重”。
而激光剥离是劈开12英寸产业化大门的其中一把“光刀”。为了推动12英寸SiC“破圈”,众多企业在激光剥离技术上潜心攻坚,而硅来半导体是率先取得突破的代表之一。
近日,硅来半导体正式宣布,他们已经为客户完成了第三批兼容12英寸SiC衬底激光剥离量产设备的顺利交付。
第3批12吋SiC订单交付,深度揭秘这家企业技术内核
该公司负责人表示,“本次交付标志着硅来超大尺寸SiC衬底激光剥离技术已经成功通过产业化检验,将为SiC产业发展注入新的动能”。
两大核心优势强力支撑
半年累计交付数十台套
硅来半导体先后推出6英寸、8英寸和12英寸SiC衬底激光剥离量产设备。他们不仅顺利交付多批次12英寸设备,而且全系列SiC激光剥离设备亦同步实现规模化出货。
据该公司负责人介绍,“公司的SiC激光剥离设备自推向市场以来,短短半年内累计出货已达数十套,广泛覆盖国内多家头部SiC企业,凭借扎实的产品力赢得了从国内市场到海外市场的广泛认可”。
他表示,硅来半导体的激光剥离设备解决了大尺寸,尤其是超大尺寸SiC衬底加工的技术难题,效率和损耗显著优于传统线切割工艺。
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首先,硅来半导体的SiC衬底剥离效果实现行业领先,其关键技术效果如下:
高加工效率:以8英寸SiC衬底为例,单片激光剥离时间<15分钟,较传统线切工艺提升20–30倍;
低原料损耗:8英寸SiC衬底的单片加工损耗仅60–80μm,较传统线切工艺降低60%,且加工过程中无需使用任何耗材及化学试剂;
高出片率与低成本:相较传统线切工艺,SiC衬底出片量提升30%,单片加工成本降低50%。
此外,设备交付速度迅捷也是下游SiC企业青睐硅来半导体的重要原因之一。
据介绍,依托模块化设计与产业协同优势,硅来半导体已构建起规模化量产能力,设备批量交付周期稳定在28天,未来有望进一步缩短至14天,这一交付节奏为SiC衬底企业提供了关键的扩产支撑。硅来半导体负责人表示,“在产能扩张的关键窗口期,更短的交付周期意味着更快的技术研发和产能释放,帮助客户在市场竞争中抢占先机”。
凭借“性能领先+交付高效”的双重优势,硅来半导体正成长为行业内极具竞争力的装备供应商。
第3批12吋SiC订单交付,深度揭秘这家企业技术内核
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6大核心独创技术揭秘
全方位赋能12英寸SiC
硅来半导体的激光剥离设备成为“热门之选”并非偶然,而是以自主创新的核心技术为根基,构建起难以逾越的产品力壁垒。
据了解,硅来半导体的核心研发团队源自华中科技大学激光学科,深耕激光产业多年,不仅具备深厚的技术积淀,更拥有敏锐的行业洞察力和持续的创新能力。
硅来半导体激光剥离设备的核心优势,具体体现在六大关键技术:
独创性地采用SOC组合光源,相比多台独立光源方案,其激光剥离设备具备更高集成度和稳定性。
其设备搭载自由曲面光路整形技术;
配备“白光干涉面形检测+反演算法补偿”技术:可靠性突出;
支持不同电阻率SiC晶体工艺定制,可承载更高能量,且具备“无老化、无寿命限制、强抗干扰”特性;
同时支持6、8、12英寸规格,定位精度与非标尺寸兼容性满足生产要求;
单台1.2m*1.4m设备即可完成切割全工序与自动上下料。空间布局更加紧凑,设备尺寸经过深度优化,在保证全自动化高性能运行的前提下,大幅节省车间布局空间,提升厂房整体利用率,适配不同规模产线的布局需求,更高效、更精密、更智能。
在一系列创新技术加持下,硅来半导体的激光剥离就像拥有“三头六臂”的哪吒,可满足不同厚度SiC晶圆生产需求,全方位赋能生产效率与产品品质提升。
技术的突破与市场的认可,也吸引了行业龙头的青睐。据了解,硅来半导体已成功引入武汉帝尔激光科技股份有限公司等战略投资者。
帝尔激光是全球领先的激光精密微纳加工装备制造企业,始终坚持原始创新,深耕激光技术应用“无人区”,在半导体领域已经推出TGV 激光微孔、PCB 超快激光钻孔、SiC/IGBT激光退火、激光隐切等多款设备。
硅来半导体负责人表示,未来硅来半导体将聚焦半导体激光装备核心赛道,持续优化SoC光源、自由曲面光路等核心技术,深化与帝尔激光的协同创新,以更先进的技术、更优质的服务赋能SiC衬底产业发展。
在巩固SiC衬底激光剥离设备核心优势的同时,硅来半导体已开启多元化布局,积极拓展新的增长曲线。
据了解,该公司同步布局硅光芯片核心装备领域,自主研发的硅光芯片激光隐切设备已成功出口海外,凭借更高的精度、稳定性与性价比,获得海外市场认可,有望成为公司未来的核心主力机型之一。
行家说总结
12英寸SiC的扩展,从来不只是衬底与加工设备的尺寸升级,更是产业边界的破圈与发展版图的全面延伸。
在这样的产业浪潮中,硅来半导体开始脱颖而出,未来它还将凭借自主可控的核心技术,持续深化技术迭代,成为推动SiC行业降本增效的重要力量。
第3批12吋SiC订单交付,深度揭秘这家企业技术内核
本文发自【行家说三代半】,专注第三代半导体(碳化硅和氮化镓)行业观察。
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