行家说消息 Nanotronics今天宣布推出其最新的光致发光系统 nSpec TM PRISM。Nanotronics产品套件的这一新增功能为 SiC 前端晶圆制造提供了完整的解决方案，从未抛光的 SiC 衬底到外延和器件制造，无需使用 KOH 蚀刻等破坏性测试方法。该系统专门用于配对透射和 PL 显微镜，用于对 SiC 致命缺陷（如微管和位错）进行大量检测。

该公司在 Semicon Japan 上宣布了这一消息，这是一个展示电子制造供应链各个阶段最新技术创新的优质国际展览会。

Nanotronics 是一家垂直整合的自动光学检测系统制造商，正在通过推出 nSpec TM PRISM 来扩展其系统产品组合。该平台引入了一种新的照明器，使 Nanotronics 能够为样品平面提供更多的能量。该照明器使操作员能够利用现有的成像模式，如明场、透射、暗场和 Nomarski DIC，同时将 UV 和 IR 照明添加到检查过程中。

“我们很高兴向我们现有的和不断扩大的全球客户群介绍 nSpec TM PRISM。定制照明器是我们模块化设计的重要组成部分，使我们的客户能够直接在工厂车间扩大他们的缺陷检测和分类能力，”亚太地区产品总监 Jacob Keith 说。“以这种方式设计和制造我们的照明器还有助于我们减轻全球供应链 压力并保持高效的交货和支持时间。”

nSpec TM PRISM 系统与 Nanotronics 现有的人工智能基础设施 nTelligence TM相结合，使客户能够检测和分类 SiC 外延晶片上的堆垛层错、三角形和其他感兴趣的缺陷，以及 GaN 中的裂纹和滑线。