中科微纳研究院：具备8英寸GaN晶圆加工能力

行家说消息 9月27日，广东中科半导体微纳制造技术研究院举行“科创赋能”南海科技创新平台成果精准对接沙龙（半导体专场）。

当天，在研究院科技发展部主任助理胡磊的带领下，企业代表一行参观了研究院成果展厅与洁净实验室。研究院是由南海区人民政府、佛山中科产业技术研究院共同举办的广东省省属科研事业单位，一期建设3.5万㎡科研及办公场地，建有洁净实验室2.3万㎡，布局“新型显示与光电探测”、“功率电子与5G通信”、“MEMS智能传感”等研究方向，开展化合物半导体材料、光电子器件、精密印刷电子等多种半导体材料与器件工程化研究。目前已经与佛山照明、国星光电、美的等企业在相关领域开展业务合作。

“研究院建设了针对大尺寸材料外延、光电子器件、功率器件、射频器件、传感器件、生物芯片等领域的8寸硅基MEMS和化合物半导体芯片加工中试平台，可以为企业、高校、科研院所提供GaN外延材料生长、芯片加工、封装测试等公共服务。”胡磊介绍，研究院已具备8英寸硅晶圆及8英寸硅基氮化镓（GaN）晶圆加工能力，并兼容2英寸、4英寸、6英寸加工尺寸晶圆。