Semilab发布用于射频 GaN发迁移率和薄层电阻测量系统
行家说消息 Semilab最近发布了的新计量系统:MBM-2201 迁移率和薄层电阻测量系统。
MBM-2201 迁移率和薄层电阻测量系统
MBM-2201 是一种非接触式和非破坏性系统,用于表征化合物半导体的电荷载流子迁移率和薄层电阻 ,在整个表面上具有高达 200 毫米样品尺寸的高电阻率衬底。
它是一种非接触和非破坏性的测量方法,因此样品晶片可以在测量后出售。MBM 系统能够通过全自动晶圆处理能力和基于 SAM2™(Semilab 自动化管理器 2)的软件实现符合工业标准的工厂自动化。