行家说消息  Amtech Systems 是一家资本设备制造商，包括热处理、晶圆抛光和清洁，已宣布预订第 20 台新的 OnTrak 双面晶圆洗涤器系统，用于 SiC 制造应用。

该预订来自北美现有的 Entrepix OnTrak 客户，将于 2023 财年下半年发货。此前与 SiC 相关的晶圆清洗系统订单来自欧洲、亚洲和北美的多家客户，在欧洲和北美拥有最大的安装基础分别是北美。

新型 OnTrak 双面洗涤器适用于化合物半导体应用，其配置适用于 100-200 毫米晶圆，并适用于带有定制设计载体的更小晶圆。

“Entrepix 是 SiC 市场的先行者。甚至在开发新的 OnTrak 双面晶圆洗涤器之前，他们就向这些晶圆厂运送了许多翻新的晶圆清洗系统，”Amtech Systems 首席执行官 Michael Whang 说。“预订第 20 台用于 SiC 加工的新型 OnTrak 双面洗涤器显示了 Entrepix 在这一重要市场领域的地位优势，”Whang 补充道。