行家说消息  电科装备半导体缺陷检测设备Mars 4410陆续发往多家客户。

电科装备所属中电科风华公司积极响应第三代半导体产业发展迫切需求，加快技术攻关，突破激光散射、显微成像等光学检测关键技术，推出首款完全自主创新的Mars 4410。Mars 4410是碳化硅器件产线中的关键装备，用于碳化硅衬底片、外延片、腐蚀片的缺陷检测。

后续，风华公司将继续致力于产业链自主化建设，为我国第三代半导体产业高质量发展保驾护航。