三井金属：碳化硅抛光产能提至50吨/年

行家说消息 三井金属矿业株式会社于2023年1月10日宣布，将在2023财年内将SiC（碳化硅）晶圆抛光材料“NANOBIX”的产能提高到每年50吨以上。

　NANOBIX 是一种研磨材料，不会损坏极硬的 SiC 晶圆表面的晶体，可以在短时间内顺利加工。SiC晶圆是使用碳化硅制造半导体器件的材料，使用该材料的SiC功率器件比传统的Si（硅）功率器件具有更高的耐压，并且可以在高温下工作。

“NANOBIX”的使用示例 出处：三井矿业株式会社

　由于这些特性，近年来SiC功率器件越来越多地应用于电动汽车，对高性能SiC晶圆的需求也越来越大。此外，随着 SiC 晶圆加工面积的增加，需要高效的抛光工艺。

　在这种情况下，目前对 NANOBIX 的需求正在迅速增加。该公司已决定增加其产能，因为预计未来将继续扩大。