三井金属将增产碳化硅晶圆磨料
行家说消息 三井金属株式会社10月10日宣布,将提高其功能性粉末事业部生产的SiC晶圆用研磨材料“NANOBIX”的产能。 近年来,随着电动汽车全面采用SiC功率器件,对高性能SiC(碳化硅)晶圆的需求不断增加。此外,随着SiC晶圆加工面积的增大,需要高效的抛光工艺。
针对这种情况,目前对NANOBIX的需求正在迅速增加,我们决定在2023财年内将产能提高到50吨/年以上。NANOBIX 的市场预计未来将继续增长,我们的目标是不断增加产能并提供稳定的供应。 该公司的三池功能性粉末工厂(福冈县大牟田市)生产的 SiC 晶片抛光材料 NANOBIX 用作抛光材料,可以在短时间内加工得非常光滑,不会损坏 SiC 表面的晶体晶片。