行家说消息  2022年4月，烁科中科信的碳化硅离子注入设备向安徽客户发货，这是他们本年度第三台出货。

48所第一事业部研发的国内首台SiC高温高能离子注入机在完成器件工艺验证之后，于2016年12月初发往河北某用户工厂现场，正式进驻SiC器件生产线，标志着SiC高温高能离子注入机迈入新的阶段。