行家说消息  2022 年 7 月 12 ，Obducat AB 是一家为光刻加工提供系统解决方案的供应商，它已收到一份提供全自动 Microcluster Track 湿法加工工具的大订单。订单价值约为 66.8 万美元（710 万瑞典克朗）。

全自动 Microcluster Track Wet 工具将用于 SiC 基板的清洁工艺。该系统将于 2023 年第一季度交付。