行家说消息  6 月 23 日，Axcelis 宣布向领先的功率器件芯片制造商出货多台Purion H200 Si 200mm 和 SiC Power Series™ 150mm 大电流注入机。这些货物包括两个新的渗透和后续订单，运往位于亚洲的晶圆厂。这些客户将在支持汽车设备市场的功率器件的大批量生产中使用这些系统。

Axcelis产品开发执行副总裁比尔宾茨道，“到 2022 年，我们预计功率器件细分市场将占我们系统销售额的 30% 至 40%，我们预计该细分市场将继续增长。”