订购设备,又一SiC企业上8寸线?
前段时间,日本企业宣布在6月开建8寸SiC衬底厂(.点这里.),近日,韩国也有企业已经购买了8寸SiC设备,加快生产线建设。
Senic 采购8 寸设备
2023年量产?
据韩国IT新闻报道,6月12日,韩国半导体设备制造厂商 ESTech 宣布,他们公司已成功实现了碳化硅长晶设备的本土化,并于今年下半年向 Senic 供应用于SiC晶锭生产的化学气相传输(PVT)生长炉。据悉,该PVT设备可生产8英寸单晶 SiC 晶锭。
Senic公司的前身是SKC集团的碳化硅子公司,于去年决定采用 ESTech 的设备,目标是量产单晶 SiC 晶圆,他们目前正在测试原型。
Senic此前公开表示,他们未来将会从现有的6英寸SiC升级到8英寸。“如果Senic能够在2023年量产8英寸SiC晶圆,对于韩国功率半导体的全球核心技术来说将是一个巨大的成就”。
为此,今年3月,他们还与Accretech Korea(东京精密设备)签订了4-8英寸碳化硅晶圆的设备供应的合同,东京精密的研磨机和CMP等设备将投入到新的研发基地中。
“行家说三代半”此前报道过,Senic 曾在韩国忠清南道天安建设研发基地,并于1月7日与合作方签订了1059万元的洁净室建设合同,以量产SiC晶片。
10家企业推出8寸技术
国产设备如何助力?
据行家说统计,目前全球已有10家企业公开宣布成功研发了8寸碳化硅单晶衬底,除了Senic,还有Wolfspeed、罗姆、II-VI、意法半导体、安森美、烁科、中科院物理研究所、Soitec、日本OXIDE,而Wolfspeed已经开始量产。
其他企业的8英寸碳化硅衬底何时量产?7月7日,行家说将在“新能源趋势下第三代半导体产业化发展论坛”上,将公布全球8寸技术的量产时间表。同时行家说还将发布《2022碳化硅(SiC)产业调研白皮书》阶段性成果,发布更多碳化硅的产业数据。
除了韩国,中国也有企业在研发8英寸碳化硅长晶设备,恒普科技将在本次论坛发表演讲,介绍他们如何助力将碳化硅单晶“长大、长厚、长快”。
此外,欣锐科技、意法半导体、英飞凌、Wolfspeed、三菱电机、芯干线、百识电子等企业均将发表演讲,共同探讨碳化硅、氮化镓在新能源汽车、储能、光伏等领域的最新动态和技术方向。
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其中, 欣锐科技将带来《SiC器件在新能源汽车产业中的应用》,Wolfspeed将带来《Wolfspeed SiC MOSFET 促进 OBC 和 ESS 的创新和先进设计》;三菱电机的演讲主题是《SiC功率芯片和功率模块技术最新进展》;芯干线将讲解《GaN器件在工业电源中的应用》;百识电子将带来《碳化硅外延生产技术》。意法半导体、英飞凌和恒普科技等企业的演讲议题即将揭晓。
2021年,英飞凌、罗姆、三菱电机、安森美、天科合达、东莞天域、飞锃半导体、芯聚能、能芯等企业,齐聚行家说举办的“SiC与GaN功率器件技术与应用分析大会”上,吸引了比亚迪、蔚来、理想、华为、伊顿电气、中车、三安、II-VI等企业参会,现场参会人数近400人。
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