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Wolfspeed又采购设备,什么动作?
行家说三代半 · 2022-03-16
Wolfspeed又采购设备,什么动作?
去年10月,Wolfspeed说要到2024年才会转向生产8英寸碳化硅器件(.点这里.),但昨天他们已采购8寸生产设备,似乎要加快进度了。
Wolfspeed又采购设备,什么动作?
购买外延设备
生产8寸碳化硅器件
2019年5月,Wolfspeed宣布投资10亿美元,在美国北卡罗莱纳州建造8寸SiC碳化硅超级工厂,产能扩大30倍。
Wolfspeed又采购设备,什么动作?
2022年初,他们宣布工厂投产。据Wolfspeed首席技术官John Palmour介绍,"2022年新厂会开始在6英寸衬底上生产设备,2024年将转向生产8英寸器件。"
但是据外媒3月14日消息,Wolfspeed正在向爱思强购买碳化硅外延工具,用于制造8寸的碳化硅MOSFET和肖特基二极管功率器件。
Wolfspeed首席执行官 Gregg Lowe表示,这次与爱思强合作,是为了“在世界上第一个8寸碳化硅工厂增加产量”。
3月15日,Wolf Speed组织投资者交流会消息,前10个季度,该公司总计取得了60亿美元的新品开发方案订单,最近一个季度获得了16亿美元的订单,远超之前预计的每季度5亿美元。
据介绍,爱思强为Wolfspeed供应的是新的行星式反应器,配置为6x200mm,与现有的行星系统相比,每批的总外延面积将显着增加。
根据Wolfspeed最新资料,从6寸转向8寸晶圆,碳化硅芯片(32mm2)数量有望从448颗增加到845颗,增加了75%。
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8寸碳化硅性能如何?
除了购买外延设备外,Wolfspeed的8寸线的其他生产设备也已到位。
2021年9月,应用材料公司宣布推出用于8寸碳化硅晶圆生产的CMP和热离子注入系统。
据估计,与机械研磨的 SiC 晶圆相比,应用材料的CMP新系统的成品晶圆表面粗糙度降低了50倍,与批量CMP处理系统相比,粗糙度降低了3倍;而它的热注入技术,与室温下的注入相比,可将碳化硅电阻率降低40倍以上。
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据Palmour介绍,他们的8英寸SiC衬底的基面和螺纹螺钉密度分别为684 cm-2和 289 cm-2。化学机械抛光后,表面质量得到改善,有66个缺陷。碳化硅外延可以实现略高于1%的厚度和掺杂均匀性。
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8寸碳化硅价格如何?
根据GTAT公司的预估,相对于6寸晶圆平台,预计8寸衬底的引入将使整体碳化硅器件成本降低20-35%。
而且,6寸SiC晶体厚度为350微米,而最初投放市场的8寸SiC衬底厚度为500微米。尽管晶体成本会略微上涨,但是由于更厚的晶体可以切除更多的衬底片,预计也有望进一步降低器件生产成本。
该公司正在努力将8英寸衬底的成本降低至6英寸水平。
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盘点全球8寸碳化硅量产时间表
据《2021第三代半导体调研白皮书》,目前已正式对外公布8寸碳化硅技术的企业,除了Wolfspeed,还有:罗姆、II-VI、安森美(收购GTAT),以及中国的烁科晶体,英飞凌也建了8寸碳化硅晶圆线。
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量产时间方面,Wolfspeed是今年年初,II-VI和意法半导体将在2024年量产8英寸SiC衬底,罗姆、英飞凌等将在2025年量产。
此外,今年2月,日本也宣布投资43亿研发8寸碳化硅衬底和mosfet,罗姆、电装、东芝、昭和电工、Mipox和中央玻璃等企业参与(.点这里.),研发周期是2021年-2030年。
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