投资超80亿!安徽布局5大SiC项目
2月22日,安徽政府公布了“安徽省2022 年重点项目投资计划”。据公示,2022年安徽省重点项目中,其中涉及5个碳化硅项目、1个氮化镓项目,总投资超85亿元。华瑞微、露笑、微芯等项目榜上有名。
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华瑞微、露笑:
碳化硅项目超50亿
根据上述计划,安徽省5大碳化硅项目中,华瑞微SiC MOSFET项目总投资30亿元,露笑科技碳化硅产业园项目总投资21亿元。
● 华瑞微半导体IDM芯片项目
该项目主要承担第三代化合物半导体器件的研发及产业化,建设SiC MOSFET生产线。计划一期占地100亩,新建厂房6万平方米、综合楼及研发楼2万平方米,设计年产6寸功率器件晶圆72万片;二期用地200亩,主要生产全流程8寸功率器件晶圆,设计年产8寸功率器件晶圆36万片。
据“三代半风向”此前报道,华瑞微半导体 IDM 芯片项目于2020年10月份奠基,2021年5月封顶,并于同年年底正式投产。
● 露笑科技第三代功率半导体 (碳化硅) 产业园项目
该项目总建筑面积8 万平方米,主要建设厂房、辅助用房,购置晶体生长炉、原料合成炉测试设备、超净室、研发设备等先进设备。
2020年11月28日,该项目在安徽合肥开工,投资总规模预计100亿元,一期投资21亿元,可形成年产24万片导电型碳化硅衬底片和5万片外延片的生产能力。二期、三期将主要开展6英寸外延片扩产建设及8英寸衬底及外延片产线建设。
值得一提的是,露笑科技为推进该项目,在去年11月24日连发2个重磅公告:
一是宣布与东莞天域签订15万片SiC衬底的战略合作;
二是募资近30亿,加快6英寸SiC衬底量产。
微芯、源芯、德微创芯
项目总投资合计达31亿元
● 微芯SiC单晶衬底研发及产业化项目总投资为13.5亿元,建筑面积3.2万平方米,新建厂房包括碳化硅晶体生长车间、碳化硅晶圆片加工车间等,购置主要研发设备、检测设备和其他辅助设备共576台(套),年产碳化硅晶圆片4英寸3万片、6英寸12万片。
● 德微创芯碳化硅功率芯片项目总投资为6.66亿元,总建筑面积8万平方米,分两期建设,一期租赁厂房0.6万平方米,二期建筑面积7.6万平方米,建设标准化厂房、办公楼及相关附属设施,购置半导体生产设备,建设生产线10条,建成后形成年产4.8万片碳化硅功率芯片的生产能力。
● 源芯先进功率半导体基地项目总投资为11亿,目标建成总建筑面积1万平方米,建设10条分立器件封装线等,开展硅基、碳化硅产品设计、封装测试、模块、品牌营销一体化基地。
东科半导体
氮化镓项目获投3.5亿元
除碳化硅项目外,安徽也在布局氮化镓项目。
东科半导体的超高频率氮化镓电源管理芯片项目总投资为3.5亿元。就在2月23日,“三代半风向”报道过东科的GaN项目3月底竣工。
据公示,计划新建厂房5万平方米,建设2条氮化镓超高频AC/DC电源管理芯片封装线,2条氮化镓应用模组封装线,年产8000万-1亿只超高频AC/DC电源管理芯片,4000-5000万只氮化镓电源模组。
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