山东省:采用碳化硅衬底流片可获50%以上补贴
行家说消息 2021年12月31日,山东省人民政府印发了2022年“稳中求进”高质量发展政策清单(第一批)。
在《2022年起实施的新政策清单》中,其中涉及1个碳化硅新政策,于2022年1月1日起实施。
根据新政策,对山东省集成电路设计企业首次与合规集成电路制造企业签订流片合同,并利用其生产线完成产品流片的费用,给予单户企业最高300万元补助。其中,实施多项目晶圆流片的,按照不超过其首轮流片费用的70%给予补贴;实施全掩膜流片的,按照不超过其首轮流片费用的50%给予补贴;产品工艺制程在28纳米以下或以第三代半导体碳化硅晶片作为衬底加工生产的流片,补贴比例适当上浮。