行家说消息  1月6日，Axcelis 宣布，Purion H200 SiC Power Series™ 大电流注入机将在第三和第四季度向亚洲和欧洲领先的功率器件芯片制造商出货。

去年第四季度Axcelis还成功完成了Purion XE Power 系列 SiC 高能注入机评估，以实现新客户渗透。欧洲两家客户的系统将用于大批量生产支持汽车市场的SiC功率器件。

Axcelis产品开发执行副总裁Bill Bintz评论道，“汽车功率器件正在推动功率市场的高速增长。预计从 2019 年到 2025 年SiC 功率器件市场将以30% 的复合年增长率增长。该领域的器件制造需要高投入资金以购买更高能离子注入和更高能量高剂量离子注入工艺。”

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