总投资4.5亿!又一氮化镓项目要开建了
总投资4.5亿!又一氮化镓项目要开建了
10月12日,根据政府官网消息,由西安电子科技大学广州研究院建设的广州第三代半导体创新中心建设项目复核通过,将于2021年11月开建,2022年7月结束。
根据公告,该项目总投资4.536亿元,预计分别建设一条氮化镓研发线和中试线,中试能力达到折合6寸晶圆1000片/年。
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同时,创新中心还将建设第三代半导体的公共技术研发服务平台,主要包括器件和集成电路设计平台、加工平台及测试分析平台。
据了解,2020年12月28日,该创新中心签约落户广州黄埔,聚焦大尺寸氮化镓材料外延生长、氮化镓微波毫米波器件与集成电路、氮化镓电力电子器件与集成电路等技术领域。
目前,该项目已经在着手建设当中:
▲5月14日,西安电子科技大学就发布了招标公告,对外采购碳化硅外延炉1台,预算金额为1600万元。
▲8月20日,又公开招标广州研究院第三代半导体创新中心装修改造设计施工总承包。
此外,据“三代半风向”了解,西安电子科技大学还将在陕西建设氮化镓和碳化硅2条中试线,解决关键共性技术研发难题。(.点这里.)。
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