99.5%超高激光良率！SiC技术新突破

随着新能源汽车、光伏发电、AI算力等战略性新兴产业的高速发展，第三代半导体材料碳化硅正面临日益增长的精密加工挑战。

作为行业技术引领者，矽加半导体凭借多年深耕，正式推出碳化硅衬底激光剥离与减薄全自动化产线，通过与后道抛光工艺的深度协同，为衬底加工提供完整的制程支持。

从“单机作业”迈向“链式自动化”

碳化硅硬度高、脆性大，传统线切割加工方式存在材料损失大、易断线、表面损伤深等问题，制约了大尺寸衬底的良率与量产进程。为从源头改善加工质量，矽加推出了激光剥离与减薄自动化产线，涵盖晶锭减薄机、激光改质设备、超声波剥离设备、AGV搬运系统，并可与后续研磨抛光产线无缝衔接，形成完整的“晶锭进—衬底出”闭环制程。

激光技术作为新一代高硬脆材料加工手段，通过精准控制激光在晶锭内部进行改质层扫描，实现材料“预分离”，从源头降低切削应力与表面损伤。结合超声波精准剥离，该技术可显著改善晶片内部应力分布，提升衬底可靠性，为8英寸及未来更大尺寸碳化硅衬底制造提供了明确技术路径。

产线全程采用AGV与自动化控制系统，实现晶片在不同模块间的自主流转与精准定位，不仅大幅减少人工干预、降低操作风险，更通过标准化流程保障工艺一致性与产品良率，积极响应国家智能制造与产业自动化升级的政策导向。

全链自动化整合，实现效率与良率双提升

矽加半导体激光剥离与减薄自动化产线通过各模块深度协同与智能调度，在整线效能上实现显著突破：

一、激光单元高性能支撑：

激光机作为产线核心加工单元，具备单片加工时间20–25分钟（8英寸） 的高效处理能力。

激光工艺段材料损耗控制在80–100μm，为后续工序保留更多加工余量。

该单元加工良率达99.5%以上，为整线高良率奠定坚实基础。

二、链式自动化量产能力：

显著提升生产效率：链式自动化消除了传统工序间繁琐的物料周转与定位，综合生产效率提升超30%，大幅降低人工干预成本。

确保工艺稳定性：智能控制系统统一调度各模块工艺参数，确保从激光改质到超声剥离的全程加工稳定性，整线产出衬底具备优异的一致性与可靠性。

三、大尺寸衬底加工领先优势：

8英寸衬底已实现成熟自动化加工：产线目前具备成熟的8英寸碳化硅衬底全自动化加工能力，在加工良率与成本控制方面达到行业先进水平。

面向12英寸衬底的技术储备与验证：产线设计兼顾技术前瞻性，已具备12英寸工艺的验证能力，为未来产业升级提供扎实技术基础。

开发赋能

推动产业链协同创新

矽加半导体以开放理念打造行业赋能平台，推动产业链协同发展与技术共进：

提供全流程培训与技术支持：帮助客户快速构建自动化产线运营与维护能力；

面向行业开放工艺验证平台：支持新材料、新工艺在真实产线环境中的测试与迭代；

输出成熟智造体系与标准：为国内半导体产业提供可复制、可持续的升级路径。

助力产业高质量发展

随着全球碳化硅市场持续高速增长，大尺寸、低成本、高效率的衬底制造能力已成为产业竞争的关键要素。基于在碳化硅精密加工领域的技术积累，矽加半导体已在衬底制造方面取得重要突破。该公司的技术路线完整覆盖切、磨、抛全工艺流程，在8英寸碳化硅衬底上已具备实现光学级产品总厚度偏差（TTV）≤1μm、导电型产品TTV≤2μm的稳定量产能力，其中光学级产品已获得头部客户的验证认可。

值得关注的是，矽加半导体的12英寸加工设备也已进入国内头部客户生产线，标志着其大尺寸衬底加工技术正式步入产业化验证阶段。通过持续的技术创新，该公司正在为下一代大尺寸碳化硅衬底的量产奠定坚实基础。这些技术成果不仅体现了矽加半导体在碳化硅衬底精密加工领域的核心竞争力，更为提升国内碳化硅产业链的自主配套能力与整体竞争力提供了重要支撑。