SiC营收增长超100%！这家企业8寸SiC设备实现批量出货

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过去一年，产业领袖企业是如何抓住历史机遇勇立潮头？2023年，他们又将如何迈出新时代步伐？为此，行家说三代半、行家极光奖联合策划了《产业领袖开年说——2023，全力奔跑》专题报道，本期嘉宾是centrotherm international AG中国区（昇先创科技）总经理赵亮。

接下来，还将有更多的领军企业参与“行家开年说”，敬请期待。

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受访者：赵亮

昇先创科技总经理赵亮

行家说三代半：过去一年，贵公司致力于哪些方面的努力？主要做了哪些关键性工作？

赵亮：centrotherm是一家总部位于德国Blaubeuren、全球领先的热处理设备供应商，已有70多年的高温热处理技术的开发经验。从2002年开始我们持续在电子电力领域保持着高研发投入比例，目前在第三代半导体领域已有20余年的经验沉淀。

2022年对centrotherm来说是成功的一年。一方面我们在硅基半导体和第三代半导体两个领域都取得了不错的成绩，大幅拓展了客户群体，销售订单几乎翻番。

另一方面，在供应链环节，过去一年上下游的半导体厂商都承受着比较大的压力，包括一些设备关键材料、关键部件涨价、交期变长等等，不过我们采取了一系列的措施，最终还是较好地解决了这些问题。

行家说三代半：2022年，贵公司更聚焦哪些领域？相比2021年，贵公司在市场开拓方面取得了哪些成绩？

赵亮：2022年，我们的8英寸碳化硅炉管设备夯实了领先优势，建立了较为成熟的设备平台体系，三种热处理设备（栅极氧化炉、退火炉、快速热处理）均可兼容6&8寸。实际上我们的8寸设备在2021年就已实现出货，主要是供货给欧美厂商，2022年则是吸引了更多亚洲包括少数国内的厂商购置6&8寸兼容设备。

此外，centrotherm是欧盟碳化硅技术领域重大研究项目的技术领导者和重要成员，一直积极参与TRANSFORM等研究项目。

适用于8英寸SiC晶圆的快速热处理设备(RTP)

行家说三代半：2022年，贵公司在产品、技术等方面有哪些新的突破？2023年会有哪些新规划？

赵亮：栅氧工艺是SiC MOSFET的核心之一，我们一直致力于降低栅氧界面态密度，为此我们首创H2预处理工艺，并在去年推向了市场。这为客户改善栅氧工艺提供了更多的可能性。

另外就是8英寸设备。我们8英寸设备是在6英寸设备的基础上进化而来的，在综合COO方面是优于6英寸设备的。工艺方面我们在两种设备上保持了高度一致的水平。我们的工艺recipe可以平滑地由6英寸过渡到8英寸。产能以及运行成本方面8寸设备相对于6英寸设备更有优势，举个具体的例子，在产能更高的情况下，我们8英寸设备比6英寸的占地面积还要小。

centrotherm在热处理设备领域可以说是走在领先行列，正值行业爆发之际，基于我们一直以来高研发投入的“耕耘、灌溉”，2022年、2023年对我们来讲更多是“收获果实”的阶段。当然，2023年我们依旧会保持高研发投入，继续引领行业前沿技术发展动向，在各个层面持续优化产品，为行业的发展再添动力。

行家说三代半：2022年是第三代半导体产业关键的一年，您会有用哪些关键词来概括产业的发展？

赵亮：突破、爆发。不管是在中国还是在国际市场，所有工业化国家如西欧、北美、日本、韩国等都在大力投入第三代半导体。其中新能源汽车市场呈“滚雪球”式、指数型增长，未来SiC器件一定会持续提升新能源汽车的续航里程和充电速度。

行家说三代半：快速增长的新能源市场对第三代半导体提出了更多需求，贵司在该领域采取了哪些策略？在市场应用方面有哪些进展？

赵亮：作为设备厂商，我们的策略就是确保6&8英寸设备的供应，着力提升产能、降低成本。在供应链方面我们也将持续加强投入力度，开发更多渠道来解决一些关键原物料供应的问题。

适用于8英寸SiC晶圆的高温氧化炉 (c.OXIDATOR 200)以及高温激活炉 (c.ACTIVATOR 200)

行家说三代半：2022年，行业内有很多的企业在扩张、在扩产，您怎么看这个现象？

赵亮：这个现象目前来看好像有点投资过热，但我认为长远来看还算是比较健康的，因为SiC部分替代硅基IGBT是必然趋势。但是，也并不是所有的项目都会成功的，该行业技术和资金门槛还是较高的。

行家说三代半：2022年整个产业还面临哪些压力和挑战？

赵亮：从我们设备制造商的角度来看，高纯碳化硅部件在未来几年有可能在一定程度上制约行业发展。这是一个挑战。

从产业链角度看，芯片、模块封装环节其实可以说是百花齐放。但就国内而言，上游的长晶、衬底短期内供应可能会是一个挑战。

行家说三代半：您认为2023年第三代半导体行业的主要发展方向是什么？又将会发生哪些变化？

赵亮：站在我们的角度，最大的改变就是产业在为8英寸做准备。西欧北美的几家SiC巨头从更早时候就已经投入到8英寸的研发当中；个别国内企业去年开始为8英寸产业链布局。今年一开年，我们所看到的是有越来越多的客户在为6寸转8寸做准备，相信今年国内新投资的fab 6&8寸兼容的比例会明显高于去年。

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